用带电粒子活化法作重掺杂硅中氧氮含量的分析

摘要：

用带电粒子活化法分析重掺杂硅中氧氮含量的工作在北京大学静电加速器上初步开展起来了,通过对实验设备的改进和完善以及对部分样品的测量,得到了一些初步结果,也发现了一些待改进的问题.在此基础上,将努力在北大重离子所建成C、N、O分析的规范方法(CPAA),以满足国内材料研究的需求.

关键词： 带电粒子活化分析 刻蚀 测厚仪 静电加速器 重掺杂硅 氧元素 氮元素 含量测量

作者: 巩玲华 北京大学重离子物理教育部重点实验室(北京) 王建勇 北京大学重离子物理教育部重点实验室(北京) 路祥臣 北京大学重离子物理教育部重点实验室(北京) 杨向军 北京大学重离子物理教育部重点实验室(北京) 谢大林 北京大学重离子物理教育部重点实验室(北京) 龚建华 北京大学重离子物理教育部重点实验室(北京)

作者单位: 北京大学重离子物理研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: ”2001全国荷电粒子源粒子束学术会议

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 282-284

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）