用于改进Smart-Cut工艺的氢—氧复合注入探讨

摘要：

论述了改进Smart-Cut工艺的氢—氧复合注入,分析了氢—氧复合注入的特点与效率,论证了其用于改进工艺的可行性.

关键词： 离子注入 智能剥离 复合注入

作者: 许泽金 陈庆川 童洪辉 耿漫

作者单位: 核工业西南物理研究院(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: ”2001全国荷电粒子源粒子束学术会议

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 277-281

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）