卢瑟福背散射自动测量
卢瑟福背散射谱(RBS)已经被广泛用于不同种固体材料的近表面区域的分析工作.RBS的优点在于其测量的快速性、获得样品表面下的原子分布而不损伤样品和结论数字性.到目前为止,许多实验室已经通过简化散射过程和降低探测离子的进程速度的方法发展了适合的近似方法.然而,为了快速准确地分析,计算机模拟成为从初级谱中获得定量和扩展的信息的最有效途径.近来,许多用于多元素多层结构和杂质分布的多功能计算机程序出现.现在我们采用Visual C++语言并且更新了一些理论计算公式.这个程序采用数值积分的方法预设和计算背散射能谱.程序将岐离和探测分辨率的影响也考虑在内.样品看作由有限薄层组成的.
卢瑟福背散射谱 自动测量
谢德民 周俊思 王龙 侯广琦
中科院物理所 北京理工大学
国内会议
海口
中文
149-158
2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）