等离子体浸没离子注入圆筒内表面的时空尺度
等离子体浸没离子注入是传统离子注入的一个新发展.与工件外表面的注入不同,内表面的等离子体浸没离子注入存在空间和时间上的尺度.本文围绕这一主题展开了讨论.研究表明,由于内腔,如内筒的有限尺寸,使得注入电压的利用率降低、同时使内部等离子体快速耗尽.对于特定的内筒,利用提高注入电压提高注入能量只能在一定的电压范围内实现.在典型的外表面注入工艺条件下,内表面离子的耗尽速度是惊人的.如在对于直径20cm的圆筒在30kV、2×10<”15>ions/cm<”3>的条件下,等离子体耗尽时间仅为0.55μs,这个时间甚至小于多数脉冲电源的上升沿时间.内部等离子体源的硬件结构可能是一种有效的解决方法.
内表面 等离子体浸没 离子注入 时间尺度 空间尺度
田修波 D.T.K.Kwok 童洪辉 Paul.K.CHu
香港城市大学物理及材料科学系
国内会议
海口
中文
55-59
2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）