磁过滤等离子体沉积和注入技术

摘要：

本文介绍了阴极真空弧放电技术的应用及磁放滤等离子体沉积和注入装置以及它的应用.

关键词： 等离子体沉积 离子注入 磁过滤

作者: 张荟星 李强

作者单位: 北京师范大学低能核物理研究所 射线束技术与材料改性教育部重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: ”2001全国荷电粒子源粒子束学术会议

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 51-54

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）