全方位离子注入及增强沉积工业机及应用
本文报告了为深圳国家“八六三”计划材料表面工程技术研究开发应用中心研制开发的新一代全方位离子注入及增强沉积工业机.该机的真空室由不锈钢制成,外侧分层覆盖有永磁体、冷却水管、软铁、铅皮及装饰不锈钢板,用于冷却、在真空室内形成增强的多极会切磁场和满足X射线防护要求.该机直径900毫米,高1050毫米,立式放置,抽气系统由分子泵及机械泵构成并且实现了PLC控制,本底真空小于4×10<”-4>Pa.气体等离子体可由热阴极放电产生,另外配有三个高效磁过滤式金属等离子体源产生金属等离子体.真空室顶部预留了法兰口并配有冷却靶台.因此该机可实现全方位离子注入或增强沉积成膜.该机的负高压脉冲幅值为10-80kV,重复频率为50-500Hz,脉冲上升沿小于2μs,并且可根据需要产生脉冲串.一般地等离子体密度为10<”8>-10<”10>cm<”-3>,膜沉积速率为0.1-0.5nm/s.文中亦报道了一些实验及应用结果.
离子注入 金属等离子体源 增强沉积工业机
童洪辉 陈庆川 霍岩峰 王珂 穆莉兰 冯铁民 赵军 严兵 耿漫
核工业西南物理研究院(四川成都)
国内会议
海口
中文
41-45
2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）