团簇粒子源及其应用

摘要：

粒子与固体相互作用,包括团簇粒子,现有的团族源类型有溅射和蒸发产生团簇两类,它们引出了多种纳米量级的团簇.如果采用交流磁控溅射,可产生绝缘材料的团簇,用蒸发方法可产生金属、半导体团簇.

关键词： 团簇粒子源 溅射 半导体材料

作者: 赵子强

作者单位: 北京大学物理学院重离子物理研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: ”2001全国荷电粒子源粒子束学术会议

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 36-40

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）