阴极真实弧沉积中第二阳极现象研究

摘要：

介绍了阴极真空弧沉积中,弧源在阴极接地和阳极接地两种不同工作状态下的工作特性.发现阳极接地时,因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用,聚焦磁场对弧源放电稳定性的影响不如阴极接地时明显.因此可以加较高的聚焦磁场,从而获得流强较高和较稳定的沉积离子束.

关键词： 真空弧沉积 阳极接地 阴极接地 等离子体源

作者: 王广甫 张荟星

作者单位: 北京师范大学测试中心(北京),北京师范大学低能核物理研究所(北京) 北京师范大学低能核物理研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: ”2001全国荷电粒子源粒子束学术会议

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 24-27

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）