超精机床控制技术的发展

摘要：

从1983年,美国劳伦斯里弗莫尔国立研究所(Lawrence Livermore National Laboratory 以下简称LLNL).建成大型光学零件钻石刀车床LODTM到1996年,日本FANUC公司研制出超精纳米机床ROBO nano Ui,超精机床加工技术已向毫微米级的精度发展.由于很高的分辨率和很高的加工精度,对于控制系统的要求也越来越高.本文主要介绍(1)超精数控技术的发展;(2)超精伺服技术的发展.

关键词： 超精机床 控制技术 数控技术 伺服技术 超精加工

作者: 李佳特

作者单位: 北京机床研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议既企业生产工程与产品创新专题研讨会

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 99-108

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）