CNx/TiN多层复合膜的磨擦磨损特性研究

摘要：

利用一台直流磁控溅射和多弧沉积设备在高速钢(HSS)衬底上沉积CNx/TiN多层复合膜,涂层的硬度超过50GPa.销-盘式磨擦试验研究了涂层的滑动磨擦性能,观察并分析了薄膜的磨损模式.实验表明交替涂层在高速和大载荷的条件下有很好的抗磨损性能.

关键词： 涂层 滑动磨擦 多层复合膜 磨损特性 高速钢 涂层材料

作者: 刘传胜 范湘军 曾昭元 吴大维 叶明生 高鹏 彭友贵

作者单位: 武汉大学物理系加速器实验室(武汉)

会议类型: 国内会议

会议名称: ”2001全国荷电粒子源粒子束学术会议

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 316-320

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）