FZ-14-1区熔炉特性及拉晶工艺研究

摘要：

本文介绍了FZ-14-1区熔炉较FZ-14区熔炉新增的一些特性,同时重点介绍了φ60mm-φ105mm区熔本征单晶的控制工艺,并对气相掺杂和大直径一次成晶工艺探索进行了描述.

关键词： 气相掺杂 线圈移动 大直径成晶 区熔炉 区熔硅单晶 制备工艺

作者: 吴小双 沈浩平 李翔 昝兴立 刘维刚 李正珂

作者单位: 天津市环欧半导体材料技术有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2001天津信息技术电子仪器仪表学术会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 124-126

在线出版日期: 2001-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）