硅微机械F-P腔可变衰减器

摘要：

本文介绍了一种新型的硅微机械F-P腔可变衰减器,针对其性能从机械结构、电场等几方面进行了分析.

关键词： 硅微机械F-P腔 衰减器 光无源器件 微机械技术

作者: 欧毅 孙雨南 崔芳

作者单位: 北京理工大学光电工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 590-594

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）