焦磷酸质子交换波导工艺研究

摘要：

采用焦磷酸质子交换技术制备LiNbO<,3>光波导,总结了交换条件、退火工艺和实验结果,报告了表面腐蚀情况和单模条件.测量分析了退火前后波导折射率分布的变化,开发循环迭代法拟合折射率分析.结果显示退火前后的折射率分别呈近似阶梯和近似指数的分布,均可用费米函数良好地描述.

关键词： 光波导 焦磷酸质子交换技术 波导折射率 光通讯 制备工艺

作者: 唐杰 梁东波 陈林 袁一方 陈抱雪 矶守

作者单位: 上海理工大学光学与电子信息工程学院(上海) 日本东京农工大学工学院应用化学系(日本东京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 415-418

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）