用于光网络的微光机电系统制作技术及进展

摘要：

微光机电系统是微光学、微电子学、微机械学结合而产生的一个新的应用领域,它是光、机、电、磁、化学、自动控制、传感技术和信息处理等多种技术的综合.本文综合介绍了用于光网络的微光机电系统(MOEMS)的技术特点、工作原理和制作技术,对微结构加工、微光学元件制作、微光学器件装配的工艺过程和技术特点作了详细的阐述,介绍了一些微加工工艺、微光学元件方面的技术发展情况.

关键词： 微结构 全光网络 通信技术 微光机电系统 微光学器件

作者: 闭阗

作者单位: 信息产业部电子34所(广西桂林)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 89-93

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）