薄膜材料中表面声波的光外差法检测

摘要：

本文利用激光照射于沉积在基片表面的薄膜上激光器表面声波,并利用外差光检测器探测表面声波位移.利用实验获得的色散曲线和已知基片参数,根据层次媒质中瑞利波传播理论,推算薄膜材料的厚度、弹性模量、密度等材料信息.

关键词： 光外差法检测 表面声波 薄膜材料 激光超声技术

作者: 徐晓东 张飞飞 张淑仪 刘天柱 水修基

作者单位: 南京大学声学研究所和近代声学国家重点实验室(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会2001青年学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 222-224

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）