薄膜电阻加热器的高精度温控

摘要：

本文介绍了用ITO导电膜作为加热方式并采用PID方式通过A/D卡输出电平控制加热电压实现高精度控温的方法,主要突出了如何针对小热容加热体的特点采用相应的措施通过PID控制实现精确控温.初步研制成功了高发射率、可持续工作并能在室内实现精确控温的高精度薄膜电阻加热板.

关键词： 薄膜电阻 薄膜电阻加热器 氧化铟薄膜

作者: 黎全 钟钦 林亚风 魏文俭 邓立新 陈前荣

作者单位: 国防科大理学院光电工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国光电技术学术交流会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 514-516

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）