ICCD器件的光纤耦合技术

摘要：

作者在查阅了大量的国内外相关技术资料,做了充分的调研之后,以较高的起点,进行了ICCD器件光纤耦合工艺技术的研究工作.文中所述的ICCD器件的耦合工艺,继承了国内几个主要研究单位的技术特点,同时,又充分参考了国际上一些著名公司的相关技术,例如以色列的ORLIL公司、法国的PHOTONIS公司、荷兰的DEP公司和ADMEC公司、俄罗斯的ELECTRON公司等.因此,具有相当的先进性的代表性.

关键词： ICCD器件 光纤耦合 工艺技术

作者: 辛福学

作者单位: 航天工业总公司三院8358所

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国光电技术学术交流会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 429-432

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）