非制冷红外焦平面阵列BST薄膜材料的研究

摘要：

选用Ba(C<,2>H<,3>O<,2>)<,2>、Sr(C<,2>H<,3>O<,2>)<,2>·1/2H<,2>O和Ti( OC<,4>H<,9>)<,4> 为原料,冰醋酸为催化剂,乙二醇乙醚为溶剂.用改进的Sol-Gel技术在Pt/Ti/SiO<,2>/Si基片上成功地制备出钙钛矿结构的BST薄膜,该薄膜是制备非致冷红外焦平面阵列的优选材料;用D/MAX/RB转靶X射线衍射仪分析了薄膜的结构;用PH4192A阻抗分析仪测试了薄膜的介电特性.

关键词： 铁电薄膜 红外探测材料 介电特性 红外焦平面阵列

作者: 刘梅冬 刘少波 曾亦可 李楚容 邓传益

作者单位: 华中理工大学电子科学与技术系(武汉)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国光电技术学术交流会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 194-197

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）