用天大规模集成电路制造的干涉光刻

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国光电技术学术交流会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 557

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）