大位移纳米分辨率超精测径仪
本文提出了一种新型可测量孔和轴直径的超精测量仪,该超精测径仪主要由炫耀光栅和气浮导轨及红宝石探头组成,采用接触式绝对测量方法.由花岗岩构成的气浮导轨提供直线基准,炫耀光栅和红宝石探头组成高分辨率的测长系统.仪器中引入了电磁加力系统以减少探头与工件接触表面力,从而减小由于测量力引起的工件接触表面形变.文中还介绍了环境温度的控制和减小环境振动的手段,以保证测量精度和重复性.这种新型测径系统分辨论可达到1nm,量程范围可达0～100mm.
炫耀光栅 直径测量 测经仪 超精测量仪
陈智锋 吕海宝 张绍宗
国防科技大学 超精密实验室
国内会议
南京
中文
11-13
2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）