关键词： DRAM存储器 存储电容 接触孔 写入读出通道
作者: 石振东 柳国华
作者单位: 日电电子有限公司扩散部
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 348～351
在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）