轻型等离子体源(LPS)的研制

摘要：

研制了一种用于改进光学薄膜性能的轻型等离子体源(Light Plasma Source)，轰击离子的能量为35-80eV，连续可调，加偏压时离子能量可提高到近200eV。由于降低了轰击离子的能量，克服了其它离子辅助轰击方法的缺点，如溅射引起的膜层污染、组份优先溅射形成的膜层化学成份与膜料化学成份的差异，膜层界面锐度降低等。初步工艺实验结果表明，器件在镀膜过程中有严格温度限制时，轻型等离子体源的使用满足了器件镀膜的要求，改进了膜层性能。

关键词： 性能测试 等离子体源 轻型

作者: 李守中

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 52～54

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）