谐振式硅微结构压力传感器

摘要：

该文对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件；硅梁作为二次敏感元件的硅谐振式压力微传感器进行了研究：建立了微传感器敏感结构的数学模型；敏感结构参数：方形膜边长4mm，膜厚0.1mm，梁谐振子长1.3mm，宽0.08mm，厚0.007mm；对原理实验样件采用电热激励、压阻拾振方式作了开环测试，讨论了传感器的闭环系统。

关键词： 谐振式微传感器 硅微结构 压力传感器

作者: 樊尚春 刘广玉

作者单位: 北京航空航天大学自动控制系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 20～25

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）