一种微位移工作台的结构设计及误差分析

摘要：

介绍了一种步进谐波机构驱动的精密位移工作台的结构设计，分析了各主要误差源对工作台定位精度的影响。通过合理的精度设计、可消减传动误差的结构设计，可使工作台实现亚微炫及的分辨率及微米级的定位精度。

关键词： 谐波传动 精密位移工作台 精密定位 结构设计 传动误差

作者: 田兴志 何惠阳

作者单位: 中国科学院长春光机所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会精密机械分会99”精密工程学术讨论会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 190-191

在线出版日期: 1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）