肖特基隧道晶体管中的量子效应

摘要：

利用蒙特卡罗器件模拟软件以及自恰求解薛定谔方程和泊松方程分析积累层尺寸量子化的方法，模拟了基于积累模式的肖特基势垒隧穿晶体管，并对掺杂、势垒高度等各种参数的影响做了详细的分析。

关键词： 肖特基隧道晶体管 量子效应 掺杂

作者: 刘晓彦 孙雷 杜刚 韩汝琦

作者单位: 北京大学微电子所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 331～334

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）