50nm肖特基隧穿晶体管(SBTT)特性模拟

摘要：

该文利用自主开发的蒙特卡洛器件模拟软件，对沟长为50nm的肖特基隧穿晶体管(SBTT)的输出特性和转移特性进行了模拟，得到了明显的开关态电流比。并讨论了肖特基势垒高度和沟道区掺杂浓度对器件的影响。

关键词： 肖特基隧穿晶体管 蒙特卡洛器件模拟

作者: 杜刚 刘晓彦 孙雷 韩汝琦

作者单位: 北京大学微电子所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 23～26

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）