关键词： 肖特基势垒栅场效应器件 短沟效应 掺杂浓度 源漏接触
作者: 刘晓彦 林长海 关旭东 韩汝琦
作者单位: 大学微电子所
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 558～561
在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）