Ku波段单片MEMS砷化镓振荡器和辐射天线

摘要：

用MEMS技术设计并制作了Ku波段单片振荡器和制作在砷化镓衬底上的Ku波段辐射天线.其中单片振荡器在18.29GHz输出功率达9.17dBm;Ku波段MEMS辐射天线在18.835GHz附近驻波＜1.5,带宽180MHz,垂直极化增益为-7.5dB;同时制作的单片MEMS振荡辐射天线将振荡器与微型天线制作在一个砷化镓衬底上,芯片面积仅1.5×3.0mm<”2>.

关键词： MEMS 振荡器 辐射天线

作者: 钮利荣 李拂晓 王学之 林金庭 刘庭华 章文勋

作者单位: 南京电子器件研究所 东南大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 2001全国微波毫米波会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 227-230

在线出版日期: 2002-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）