X波段5WHBT功率管的研制

摘要：

本文讨论了X波段微波功率异质结双极晶体管(HBT)的设计,介绍了器件研制的工艺过程及测试结果.研制的器件在X波段功率输出大于5W,功率密度达到2.5W/mm.采用Φ76mm工艺制作,工艺成品率高.

关键词： X波段 功率管 晶体管

作者: 钱峰 王学之 孙毅 陈效建

作者单位: 南京电子器件研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2001全国微波毫米波会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 580-582

在线出版日期: 2002-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）