MEMS开关的测试与模拟

摘要：

本文论述了微波MEMS开关的测试与模拟.开关为金属膜组成的桥式结构,其插入损耗和隔离性能取决于开态和关态的电容.采用微波在片测试系统,对开关进行了测试和模型提取,模型模拟值与测试值基本吻合.

关键词： MEMS 开关 模型 开关结构

作者: 陈新宇 朱健 郝西萍 李拂晓 林金庭

作者单位: 南京电子器件研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2001全国微波毫米波会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 808-810

在线出版日期: 2002-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）