微机电系统应用技术新进展

摘要：

未来的电子设备和系统发展的趋势是进一步缩小尺寸、降低成本和功耗.微机电系统(Microelectromechanical system)是一项与集成电路制造工艺相同的新兴技术,已在微波系统中得到广泛应用.本文综述了当前国际上MEMS技术的最新发展动态,以射频与微波应用的各种MEMS器件关键技术为例进行了介绍,最后展望了未来的发展前景.

关键词： 微波 射频 微机电系统 集成电路

作者: 吴群

作者单位: 哈尔滨工业大学电子与通信工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 2001全国微波毫米波会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 796-798

在线出版日期: 2002-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）