微压传感器的快速标定方法——密闭水盒法

摘要：

本文提出了一种标定微压传感器新方法.该方法可以量程在1kPa以下的(甚至量程为100Pa的)微压压力传感器进行快速、高精度的标定.标定精度可以达到和高于千分之一.标定时间约为补偿式微压计测量法的十分之一.

关键词： 压力传感器 密闭水盒法 标定方法 压力计量

作者: 鲍敏杭 沉绍群 杨恒 王金锁

作者单位: 上海复旦大学微电子系 上海计量技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2001全国压力计量测试技术年会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 73-76

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）