α-200台阶仪重复性和再现性研究

摘要：

本文研究了α-200台阶仪测试系统重复性和再现性(R&R).详细介绍了R&R分析的统计方法,样本的制备,测试方案及测试结果,还就结果进行了讨论.

关键词： 台阶仪 重复性 再现性 测试系统分析 分辨率

作者: 付玉霞 刘志弘 张伟 仲涛 郭英姿 夏苏 林发永

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 364-366

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）