干涉光刻的原理及计算机模拟

摘要：

本文介绍激光干涉光刻的基本原理,对几种光束组合形式的干涉给出了理论推导结果,并对部分结构方案进行了模拟.

关键词： 光刻 干涉光刻 激光干涉 微电子器件

作者: 张锦 冯伯儒 郭永康 宗德蓉 蒋世磊 杜惊雷 苏平 陈宝钦 陈芬

作者单位: 四川大学物理系(成都),中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室(成都) 中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室(成都) 四川大学物理系(成都) 中国科学院微电子中心(北京) 四川师范学院物理系(南充)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 223-225

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）