图像对准系统中图像处理和标记图形的研究

摘要：

本文阐述视频图像对准系统的原理及图像细分处理过程.讨论标记图形与减小对准误差的处理方法.

关键词： 图像处理 对准系统 标记图形 光学光刻 视频图像对准

作者: 陈伟明 刘业异

作者单位: 中科院光电所微细加工国家重点实验室(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 212-215

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）