离子注入工艺中热靶的研究

摘要：

介绍热靶的研制和解决热靶产生的热电子及感应电流对注入样品剂量的影响问题.

关键词： 离子注入 热靶 晶格质量 注入损伤 工艺技术

作者: 徐嘉东 杨占坤 李建明

作者单位: 中国科学院半导体研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 123-123

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）