会议专题

硅电容式加速度计研制中的玻璃-硅-玻璃静电封接技术

本文介绍了玻璃-硅-玻璃静电封接的基本原理,阐述了经过改造后的DFJ-Ⅲ型静电封接设备能实现硅电容式加速度计的静电键合和精确对位.

硅电容式加速度计 静电封接 精确对位 试验方法

吴嘉丽 李红

四川绵阳市919信箱512分箱

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2001-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)