半导体器件与工艺综合的研究

摘要：

综合技术作为一项重要的研究方法,不仅在电路设计中获得广泛应用,现在应用在器件和工艺的研究上.利用器件与工艺综合的思想,可以开发出自顶向下的新的器件和工艺设计方法.为了实现这种设计方法,我们开发了MOSPAD软件,并利用MOSPAD系统做出一定的综合结果.

关键词： 半导体器件 工艺设计 设计方法 综合软件

作者: 鲁勇 谢晓峰 张文俊 杨之廉

作者单位: 清华大学微电子所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 630-633

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）