新颖的全集成化的二维硅微加速度传感器的设计考虑

摘要：

通过对电容式和电阻式硅微加速度传感器的工作原理和特点进行分析比较,提出了一种二维硅微加速度传感器的设计方案,并经过实验,初步验证了该设计方案是可行的,为我们进一步研制二维电阻式硅微加速度传感器打下了基础.

关键词： 硅微加速度传感器 电阻式硅微加速度传感器 二维硅微加速度传感器 工作原理 设计方案

作者: 张正元 温志渝 徐世六 张正番 杨国渝 黄尚廉

作者单位: 重庆大学光电工程学院 四川固体电路研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 601-605

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）