会议类型: 国内会议
会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议
会议地点: 昆明
会议语种:英文
页码: 592-596
在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）