射频微平面电感设计及工艺研究

摘要：

本文对影响电感Q值的几何参数进行了分析,给出了相应的曲线,提出了平面螺旋结构硅微电感的优化设计方法.设计了应用于微波通讯系统的平面电感,通过工艺实验得到器件,验证了工艺的可靠性,初步的测量值同理论值一致.

关键词： 电感 平面螺旋结构 Q值 优化设计

作者: 丁勇 刘泽文 刘理天 李志坚

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 588-591

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）