一种新型集成式电容微传声器的分析与设计
本文提出了一种使用MEMS技术制作的新型纹膜结构电容式微传声器,并对结构进行了设计和分析.模拟和分析的结果表明,纹膜结构可以大大消除薄膜初始应力对膜机械灵敏度的不良影响,增加膜的灵敏度.同时,微传声器的背极板由单晶硅衬底形成,其力学性质均匀稳定,并且没有厚度的限制,可以获得很好的高频响应.在此基础上进一步将前置MOS放大器和作为交流偏置电阻的二极管进行片内集成,可以减小杂散电容及噪声,极大的提高微传声器的性能.这种新型集成式电容微传声器具有很好的实用化前景.
电容式微传声器 结构分析 工艺设计
陈兢 刘理天 李志坚
清华大学微电子学研究所(北京)
国内会议
昆明
中文
584-587
2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）