权间隙微机械数模转换器

摘要：

本文提出了一种基于权间隙原理的微机械数模转换器(WGDAC),它与电路中的权电阻数模转换器的原理类似.我们利用间隙的长度作为比例因子,从而实现由二进制电压输入到模拟位移输出的转换.文中给出了有限元方法对由热执行器阵列驱动的数模转换器的输出位移分析的结果.为了减小误差,我们还对结构作了优化设计,同时还考虑并解决了零稳定性问题,提高了输出位移的精度.

关键词： 数模转换器 微电子机械系统 微执行器 有限元分析 优化设计

作者: 刘清倦 黄庆安

作者单位: 东南大学微电子中心(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 575-578

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）