硅微加速度计的性能仿真和优化设计

摘要：

本文介绍了有限元仿真工具ANSYS在硅微加速度计性能仿真中的应用,并利用ANSYS提供的优化工具,对加速度计结构进行了优化设计.得到了满意的结果.

关键词： 微加速度计 有限元仿真 优化设计 传感器

作者: 杨振川 李志宏 郝一龙 武国英

作者单位: 北京大学微电子所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 571-574

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）