PIN二极管探测器的光电参数—量子效率的比对测量

摘要：

光谱响应度和量子效率是光电探测器的重要参数.在研制大面积PIN二极管光电探测器过程中,需要及时测试,以调整工艺.对比对法测量探测器的量子效率是有一种实用有效的方法.本文介绍了PIN光探测器量子效率的测试方法及结果.

关键词： PIN二极管 探测器 光电参数 量子效率 测量方法 比对法

作者: 张太平 张洁天 宁宝俊 张录 田大宇 袁坚 张维 刘诗美 马连荣 孟宪馨

作者单位: 北京大学微电子所 北京大学物理系 中国原子能研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 566-570

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）