电阻发热引起的压阻式压力传感器零点失调研究

摘要：

本文使用有限元方法,分析了压阻式压力传感器力敏电阻自身发热对传感器零点输出的影响.结果表明:由于电阻工作时的发热引起传感器温度分布的不均匀,即便组成惠斯通电桥的力敏电阻参数完全匹配,传感器也可能存在零点失调.

关键词： 压力传感器 压阻效应 零点失调 有限元法 热-电耦合分析

作者: 李晶晶 岳瑞峰 刘理天

作者单位: 清华大学微电子所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 537-540

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）