IC-CAM中的质量管理

摘要：

本文介绍了一个新型集成电路计算机辅助制造(IC-CAM)系统.该系统的质量控制部分实现了由实测数据计算控制图控制限,并能自动检出并标识控制图中的异常点.使用该IC-CAM系统后,可望提高流水进度,大大缩短生产流水周期.

关键词： 集成电路 计算机辅助制造 流水周期 质量管理

作者: 朱小琳 向采兰 刘志弘 曾莹 林发永

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 533-536

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）