统计技术在集成电路生产中应用

摘要：

本文扼要介绍统计过程控制在集成电路生产中应用,对理论的经验和控制图做了比较,详细介绍了层别法和散布图相结合研究改善IC生产工艺,减少产品某些特性的离散率应用工作.

关键词： 集成电路 生产工艺 统计技术 控制图

作者: 林发永 刘志弘 刘爱华 张伟 郭英姿 仲涛 付玉霞 鲁勇 夏苏

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京清华园)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 529-532

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）