TDDB双激活能效应及其对SiO2寿命预测的影响

摘要：

在SiO<,2>可靠性研究中激活能(Ea)是一个关键的可靠性参数,要准确确定Em值,并进行可靠性寿命预测,关键在于确定Ea的转变温度Tc,进而确定出Eae的值,用这个低温区的击穿激活能Eae值外推出工作温度下的SiO<,2>寿命,可以提供可靠的预测结果.

关键词： SiO<,2>材料 寿命预测 双激活能效应 可靠性

作者: 许铭真 谭长华

作者单位: 北京大学微电子研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 484-485

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）