会议专题

SU-8深紫外光刻研究结果

本文主要给出了利用SU-8光刻胶进行深紫外光刻的研究结果.因为不同波长的紫外光在SU-8中的穿透深度不同,所以不同波段的紫外光刻结果也是不同的.本文从理论上给出了不同光刻深度选择波段的规则.本文还研究了菲涅耳衍射对光刻结果的影响.实验结果表明,菲涅尔衍射对光刻精度的影响是非常明显的.另外本文还讨论了其他的一些因素对光刻精度的影响,如H<”+>的扩散等.

SU-8 菲涅耳衍射 深紫外光刻 光刻胶 光刻精度

田学红 刘刚 田扬超

中国科学技术大学国家同步辐射实验室(合肥)

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2001-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)